平成30年度第1回応用技術セミナー
2017年9月14日に、ニュースバル(兵庫県立大学高度産業科学技術研究所)にて、平成30年度第1回応用技術セミナーを開催致しました。
最先端の半導体プロセス開発に使用し、最先端プロセスを使用した半導体の研究開発施設であるニュースバルについて、講演会と見学会を通じて体験するセミナーを開催しました。
セミナーの様子
「シングルナノ時代の半導体の可能性」
講師:ルネサスエレクトロニクス(株) インダストリアルソリューション事業本部
共通技術開発第一統括部 設計基盤技術開発第一部 新居浩二 氏
講演資料は非公開です。
「ニュースバル施設ご紹介とニュースバルが支える最先端半導体プロセス」
講師:公立大学法人 兵庫県立大学 教授/高度産業科学技術研究所 所長/
EUVリソグラフィー研究開発センター長 理学博士 渡邊建夫 氏
見学会の様子
X線自由電子レーザー施設SACLA(SPring-8 Angstrom Compact Free Electron Laser)、大型放射光施設SPring-8(Super Photon ring-8 GeV)、放射光施設ニュースバル(NewSUBARU)の見学会を開催しました。