平成30年度第1回応用技術セミナー

2017年9月14日に、ニュースバル（兵庫県立大学高度産業科学技術研究所）にて、平成30年度第1回応用技術セミナーを開催致しました。

セミナーの様子

「シングルナノ時代の半導体の可能性」

講師：ルネサスエレクトロニクス(株) インダストリアルソリューション事業本部
共通技術開発第一統括部 設計基盤技術開発第一部 新居浩二 氏

一桁ナノメートルの微細化技術を意味するシングルナノ半導体技術によって、マイコンやSoCが今後どのように変わっていくのかについて、これまでの半導体技術の発展の歴史を踏まえ、次世代カーエレクトロニクスの分野について期待される可能性をご紹介頂きました。

講演資料は非公開です。

「ニュースバル施設ご紹介とニュースバルが支える最先端半導体プロセス」

講師：公立大学法人 兵庫県立大学 教授／高度産業科学技術研究所 所長／
EUVリソグラフィー研究開発センター長 理学博士 渡邊建夫 氏

半導体微細加工技術は、3次元実装技術と併せて、高集積、高速動作、低消費電力を実現するために今後も必要な技術の一つとなっている。本講演では、極端紫外線（EUV）を利用したリソグラフィ（半導体や回路等のパターンを露光して生成する技術）の研究開発拠点として始まった、兵庫県立大学の高度産業科学技術研究所について、研究内容と施設構成を解説して頂きました。

講演資料 (4MB)

見学会の様子

Ｘ線自由電子レーザー施設SACLA（SPring-8 Angstrom Compact Free Electron Laser）、大型放射光施設SPring-8（Super Photon ring-8 GeV）、放射光施設ニュースバル（NewSUBARU）の見学会を開催しました。